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發(fā)布時(shí)間:2020-10-20 05:37  

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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)絕i對(duì)反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

可通過(guò)非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶(hù),也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件


 膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長(zhǎng)相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長(zhǎng)度)的膜層為薄膜,其厚度遠(yuǎn)大于入射光波波長(zhǎng)的膜層稱(chēng)之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類(lèi)生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。

膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱   關(guān)機(jī)超過(guò)3個(gè)小時(shí)開(kāi)機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”,將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵,等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。