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發(fā)布時間:2021-03-09 12:43  
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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務!
一種具有保護環(huán)的光刻板,包括光刻板本體和設(shè)置在光刻板本體外圈的保護環(huán),所述保護環(huán)緊密圍在光刻板本體的外部邊緣處并將內(nèi)部的光刻板本體圍起,所述保護環(huán)上具有圓型開孔、直角型開孔與直線型開孔,所述直角型開孔設(shè)置在光刻板本體的轉(zhuǎn)角處,所述直線型開孔設(shè)置在光刻板本體的水平邊緣與豎直邊緣,所述圓型開孔設(shè)置在直角型開孔與直線型開孔的連接處。用選定的圖像、圖形或物體,對處理的圖像(全部或局部)進行遮擋,來控制圖像處理的區(qū)域或處理過程。
如需要烤版,烤版時要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟。如用固體桃膠配制,一定要用熱水溶膠,膠要徹底溶開、過濾再用。②把適量的烤版膠涂在版面上,用海綿將版面涂擦均勻。③烤版膠不能用干布擦拭。④版材在烘版箱中烘烤,圖像區(qū)域會均勻變色。不同的PS版,烘烤時間、溫度及終顏色會不一致,所以需通過試驗確定烤版條件。為了保證光刻版潔凈,必須定期對光刻版進行清洗,而清洗的效果與清洗工藝以及各清洗工藝在設(shè)備上的合理配置有著密切的聯(lián)系。
刻蝕或離子注入完成后,將進行光刻的后一步,即將光刻膠去除,以方便進行半導體器件制造的其他步驟。通常,半導體器件制造整個過程中,會進行很多次光刻流程。生產(chǎn)復雜集成電路的工藝過程中可能需要進行多達50步光刻,而生產(chǎn)薄膜所需的光刻次數(shù)會少一些。石英玻璃(QuartzGlass)蘇打玻璃(Soda-limeGlass)低膨脹玻璃(LowExpansionGlass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。
掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。使用掩膜板存在許多損傷來源:掩膜板掉鉻:表面擦傷,需要輕拿輕放:靜電放電(ESD),在掩膜板夾子。