種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

電磁輻射法基于破壞細(xì)菌以及被吸收戶的熱效應(yīng)等原理，紫外線滅菌就屬于該方法，常用的有紫外線殺菌燈等，利用紫外線燈直接布在潔凈室內(nèi)，利用上班前后、午間休息、交接班等空檔時(shí)間開(kāi)燈照射殺菌，時(shí)間控制在0.5-1H左右，滅菌效果良好而實(shí)用。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈室、無(wú)塵室的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。工程的規(guī)劃首先要加強(qiáng)對(duì)設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)凈化工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。

基礎(chǔ)的承受能力按大于機(jī)組總重量的1.2倍進(jìn)行考慮，務(wù)必注意承載體的強(qiáng)度和可靠性，否則將有重大隱患；基礎(chǔ)高度應(yīng)高于機(jī)房地平面200-300mm，小型號(hào)機(jī)組基礎(chǔ)取小值，機(jī)組外形尺寸長(zhǎng)寬各大于機(jī)組外形尺寸長(zhǎng)寬50-100mm；很多行業(yè)和潔凈工程公司合作是一個(gè)長(zhǎng)期的過(guò)程，所以在找公司來(lái)施工的時(shí)候，關(guān)注他們的售后服務(wù)和報(bào)價(jià)是非常關(guān)鍵的?；A(chǔ)表面應(yīng)平整、光潔，其對(duì)角線水平誤差以不超過(guò)5mm為宜，如基礎(chǔ)不水平，可能會(huì)導(dǎo)致冷凝水排放不暢，造成漏水；對(duì)于安裝在地面上的機(jī)組，為減少機(jī)組振動(dòng)的傳遞，建議在機(jī)組底座下放置減振膠墊。