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發(fā)布時間:2020-12-12 09:31  
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電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備介紹哪些性能?
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對電子束產(chǎn)品感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。
真空測量:采用數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)(兩只電阻規(guī)測量低真空,一只電離規(guī)測量高真空), 測量范圍為1×105Pa —1×10-5Pa。
斷水報警、相序檢測與保護(hù)、溫度檢測與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測與保護(hù)。
電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)
* 渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
* pocket電子槍
* 電子束源和基片遮板
* 性能好的開關(guān)電源,杰出的消弧性能
* 自動Pocket索引以及可編程的掃描控制器
* 膜厚監(jiān)測,可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件
* 旋轉(zhuǎn)樣品臺,提供高均勻性
* 帶觀察視窗的腔門,便于放片/取片
* PC全自動控制,具有高度的可重復(fù)性
* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動工藝控制控
* 多級密碼保護(hù)的授權(quán)訪問設(shè)計(jì)
* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖
以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容,希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識,歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。
電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備簡介
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采用完全封閉的系統(tǒng)框架,結(jié)構(gòu)緊湊,外觀更漂亮,使用更安全。6-10KW e型電子槍可選國產(chǎn)或進(jìn)口,可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延遲開關(guān)、電源及保護(hù)燈亮,三分鐘后延遲及保護(hù)燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護(hù)燈會常亮。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物(ITO等氧化物)/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。