真空機組設(shè)計步驟

1.真空室內(nèi)總放氣量的計算;

2.確定真空室的有效抽速;

3.粗配主泵和粗配前級真空泵;

4.根據(jù)要求選擇閥門、捕集器、除塵器等真空元件;

5.繪制真空系統(tǒng)裝配草圖，確定各部分的尺寸;

6.梢確(復(fù)核)計算各真空泵的參數(shù)，如果粗選的真空泵達不到要求，就需要重新選泵和配泵，直到滿足各參數(shù)要求為止;

7.繪制真空系統(tǒng)裝配圖;

8.繪制零件圖，繪制施工圖。