凈化車間功能溫度測(cè)試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格面積不超過(guò)100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度，測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測(cè)量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。

無(wú)塵室的平面裝備幾種方法：1.外廊盤繞式：外廊能夠有窗或無(wú)窗，以兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，而通常選用10萬(wàn)級(jí)和外窗有必要是雙層密封窗。2.內(nèi)廊盤繞式：無(wú)塵室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度等級(jí)通常需較高，乃至和無(wú)塵室同樣的等級(jí)，此外無(wú)塵室設(shè)在外圍時(shí)，需注意并無(wú)外窗設(shè)置。3.兩頭式：無(wú)塵室設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用居室。4.基地式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠?qū)o(wú)塵區(qū)設(shè)在基地，上下左右被各種輔佐房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái)，削減與外氣的熱交換。