(1)合理選材。對精密復雜模應選擇材質好的微變形模具鋼(如空淬鋼)，對碳化物偏析嚴重的模具鋼應進行合理鍛造并進行調質熱處理，對較大和無法鍛造模具鋼可進行固溶雙細化熱處理。

(2)精密復雜模具要進行預先熱處理，消除機械加工過程中產生的殘余應力。

(3)合理選擇加熱溫度，控制加熱速度，對于精密復雜模具可采取緩慢加熱、預熱和其他均衡加熱的方法來減少模具熱處理變形。

真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的，真空熱處理可以實現幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高。與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

而且真空熱處理的價格高是因為設備貴，耗能多；每爐重量小是因為真空腔體小，容易抽真空；真空熱處理后的工件比普通熱處理工件扛氧化和耐腐蝕性強，且微觀結構更為致密。

深冷處理設備主要由液氮罐、液氮傳輸系統、深冷箱及控制系統組成。應用中，深冷處理采用多次重復進行。典型的工藝如：1120℃油淬 -196℃×1h(2-4)次深冷處理 200℃×2h.回火處理。處理后的組織出現了奧氏體轉變，還從淬火馬氏體中析出高度彌散的與基體保持共格關系的超細碳化物，經隨后的200℃低溫回火后，超細碳化物長大彌散分布的碳化物，其數量和彌散度明顯增大。

二、控溫正火或等溫退火，正火硬度過高、混晶、大量索氏體或魏氏組織都會使內孔變形增大，所以要用控溫正火或等溫退火來處理鍛件。金屬的正火、退火以及在進行淬火之前的調質，都會對金屬終的變形量產生一定的影響，直接影響到的是金屬組織結構上的變化。實踐證明，在正火時采用等溫淬火可有效地使金屬組織結構趨于均勻，從而使其變形量減小。