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制版公司常用解決方案

發(fā)布時(shí)間:2020-10-19 11:21  

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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

使用無(wú)掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對(duì)帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長(zhǎng)405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)

經(jīng)過(guò)顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層







光掩膜一般也稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。光掩膜主要由兩部分組成:基板和不透光材料。

作為半導(dǎo)體、液晶顯示器制造過(guò)程中轉(zhuǎn)移電路圖形“底片”的高精密工具,光掩膜是半導(dǎo)體制程中非常關(guān)鍵的一環(huán)。







石英掩膜版


使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過(guò)率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于掩膜版


蘇達(dá)掩膜版

使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版