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發(fā)布時(shí)間:2020-12-06 17:54  

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KOAN 晶振系列 QCM 晶體概述

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QCM 晶體的主要功用是石英晶體微天平,它利用了石英晶體的壓電效應(yīng),將石英晶體電極表面質(zhì)量變化轉(zhuǎn)化為石英晶體震蕩電路輸出電信號的頻率變化,進(jìn)而通過計(jì)算機(jī)等其它輔助設(shè)備獲得精度很高的數(shù)據(jù)。傳統(tǒng) QCM 起初被應(yīng)用在空氣或真空中檢測物質(zhì)在表面的吸附,現(xiàn)代科技的進(jìn)步也應(yīng)用在液相中檢測物質(zhì)吸附的能力,該系統(tǒng)的核心是石英晶體傳感器(也稱表面感應(yīng)芯片),當(dāng)傳感器兩端施加電壓時(shí),石英晶體會(huì)在共振頻率處引發(fā)一個(gè)小的剪切振動(dòng)。如果在晶體表面上吸附一層薄膜,晶體的振動(dòng)就會(huì)減弱,并且這種振動(dòng)的減弱或者頻率的降低隨著薄膜的厚度和密度變化。當(dāng)芯片表面有物質(zhì)吸附時(shí),芯片的頻率會(huì)降低。對于剛性吸附沉積,晶體震蕩頻率變化正比于工作電極上沉積物的質(zhì)量變化,僅適用于一個(gè)足夠薄足夠剛性,并且均勻鋪展的吸附層。



KOAN 石英晶體的壓電效應(yīng)

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石英晶體內(nèi)部每個(gè)晶格在不受外力作用時(shí)呈正六邊形,若在晶片的兩側(cè)施加機(jī)械壓力,會(huì)使晶格的電荷中心發(fā)生偏移而極化,則在晶片相應(yīng)的方向上將產(chǎn)生電場;反之,若在石英晶體的兩個(gè)電極上加一電場,晶片就會(huì)產(chǎn)生機(jī)械形變,這種物理現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。如果在晶片的兩極上加交變電壓,晶片就會(huì)產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng),同時(shí)晶片的機(jī)械振動(dòng)又會(huì)產(chǎn)生交變電場。在一般情況下,晶片機(jī)械振動(dòng)的振幅和交變電場的振幅非常微小,但當(dāng)外加交變電壓的頻率為某一特定值時(shí),振幅明顯加大,這種現(xiàn)象稱為壓電諧振。 它其實(shí)與 LC 振蕩電路的諧振現(xiàn)象十分相似。



KOAN 石英晶體微天平 QCM 和 和 QCM-D 靈敏度概念

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一個(gè)傳感器的輸入對輸出的影響被稱為傳感系數(shù)或靈敏度(sensitivity)。當(dāng)一個(gè)傳感器的輸入和輸出完全成線性關(guān)系的時(shí)候,這個(gè)傳感器就是一個(gè)理想傳感器。同時(shí),理想傳感器還應(yīng)該遵守以下原則:

1.只受被測因素的影響;

2.不受其他因素的影響;

3.傳感器本身不會(huì)影響被測因素。