亂流式此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾

亂流式

此種方式是讓空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈車間，并由潔凈車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車間等級1,000-100,000級。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈車間的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈車間等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①彈性擴(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

PVC地板施工工藝及工藝

PVC地板

施工工藝：

1、清理地面，清除浮沉，定位鋪設(shè)基準(zhǔn)線

2、鋪拉接地倒網(wǎng)(銅箔)，涂刷導(dǎo)電膠

3、 鋪貼PVC地板，滾壓PVC地板

4、開4mm靜電接地.適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，包裝品，機(jī)電房、汽車工業(yè)等02 防靜電PVC地板 。

高架地板

施工工藝:

1、在清潔的地面上劃線

2、支架橫梁裝配

3、調(diào)整橫梁水平、緊固螺釘

4、 鋪設(shè)活動地板

5、 施工完畢后清掃地板表面

適用場所: 電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，機(jī)電房.恒溫恒室實(shí)驗(yàn)室，百級無塵車間凈化廠房等

凈化車間的風(fēng)量因?yàn)楣ぷ魅藛T比較多,可以根據(jù)下列標(biāo)值應(yīng)取以下的

凈化車間的風(fēng)量因?yàn)楣ぷ魅藛T比較多，可以根據(jù)下列標(biāo)值應(yīng)取以下的高值：非單邊流凈化室總送風(fēng)量的10-30%;賠償房間內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)和堅(jiān)持不懈房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量;保證 房間內(nèi)每個(gè)人每鐘頭的清新空氣量≥40m3/h。充足的風(fēng)力與風(fēng)量是潔凈度等級的確保，大的風(fēng)力與風(fēng)量不但消耗動能，并且有時(shí)候會危害一切正常的工作中。一切正常的標(biāo)準(zhǔn)氣壓是一切正常工作中的基本上標(biāo)準(zhǔn)。必需的壓力差是操縱漏汽方位的方式。微電子技術(shù)領(lǐng)域的凈化車間為了更好地確保潔凈度等級，不允許低潔凈度等級的氣體向高潔凈度等級地區(qū)泄瀾。病毒實(shí)驗(yàn)室或房不允許室內(nèi)空氣質(zhì)量向戶外泄露。達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量：保證供給清潔房間內(nèi)每個(gè)人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3/h,另外考慮到有害物質(zhì)產(chǎn)生的狀況。針對生產(chǎn)車間內(nèi)存有的有害物質(zhì)產(chǎn)生的狀況，應(yīng)當(dāng)依據(jù)生產(chǎn)車間內(nèi)所含有害物質(zhì)的濃度值來測算稀釋液房間內(nèi)危害氣俸的新風(fēng)量。