分子泵：分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

真空泵冒煙和噴油1.冒煙，如果是泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。渦街流量計2.噴油，說明進氣口外有大量的漏點，甚至是進氣露大氣。解決之道：封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點;排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥。

真空泵組閥片的作用：閥片其實對于真空泵機組的運行起到了很大的作用，如果閥片受損就會嚴重影響機組的正常運轉(zhuǎn)情況，所以這就需要對閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運行過程中會出現(xiàn)機械故障，為了預(yù)防這些可能出現(xiàn)的故障，首先保證設(shè)備的密封效果，一般會在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。

環(huán)境的影響:　　環(huán)境的影響主要是指被抽氣體對體系的污染, 在鋼液處置過程中, 鋼液會放出很多的氣體, 一起也會有一部分細微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵, 這些小顆粒會堆積粘附在泵體上,減小了抽氣管路流導(dǎo), 延長了抽氣時刻, 下降了泵的抽氣功能。經(jīng)過長時間的理論探索, 咱們以為對泵的功能影響較大的主要有: 內(nèi)走漏、蒸汽的影響、泵的布局的影響。