由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司相關技術打破了國外壟斷，技術水平達到國外同類產品的先進水平。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個原子)，廣泛應用于表面科學、材料科學和生命科學等研究領域，在一定程度上推動了納米技術的產生和發(fā)展。電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。與此同時，基于STM相似原理與結構，相繼產生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現出來性質的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關表面結構和性質的各種信息。