?光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

潔凈車間空氣凈化設(shè)備的保養(yǎng)維護(hù)妙招

　　1.潔凈車間內(nèi)設(shè)備管理由于專業(yè)人員負(fù)責(zé)，由凈化工程公司的人員進(jìn)行定期維護(hù)、保養(yǎng)工作。

　　2.靜壓差、溫濕度等數(shù)據(jù)需要由管理人員每日觀察記錄，如發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)異常應(yīng)及時(shí)報(bào)告，并對(duì)空氣凈化設(shè)備進(jìn)行檢修維護(hù)工作。

　　3.凈化空調(diào)系統(tǒng)在整個(gè)凈化工程中占據(jù)著重要位置，其使用應(yīng)嚴(yán)格按照相關(guān)規(guī)范進(jìn)行，在潔凈車間操作期應(yīng)保持設(shè)備的連續(xù)運(yùn)作。

　　4.送風(fēng)口、新風(fēng)機(jī)組等設(shè)備需要定期進(jìn)行清潔，更換，并做好記錄工作。

　　潔凈車間在正常操作、人員進(jìn)入等必須保持凈化設(shè)備的運(yùn)行，避免二次污染的發(fā)生。凈化工程公司的嚴(yán)格科學(xué)的管理可保持設(shè)備運(yùn)作。

空調(diào)凈化需關(guān)注節(jié)能

空調(diào)凈化是能耗大戶，設(shè)計(jì)與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中，系統(tǒng)及區(qū)域的劃分，送風(fēng)量計(jì)算，溫度與相對(duì)溫度的確定，潔凈級(jí)別與換氣次數(shù)的確定，新風(fēng)比，風(fēng)管保溫，風(fēng)管制作中的咬口形式對(duì)漏風(fēng)率的影響，干管支管連接角度對(duì)氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)組等設(shè)備選擇無一不與能耗有關(guān)，所以，這些細(xì)節(jié)必須要考慮到。

風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重

在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中，對(duì)風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價(jià)格低廉，方便施工，運(yùn)行成本，內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。在運(yùn)行中，有時(shí)候管件的局部阻力大大高于風(fēng)管的沿程阻力，這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長，圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片，以減少阻力。而在實(shí)際安裝施工中，較少如此處理。對(duì)于變徑管，不可突然變徑，宜作成漸擴(kuò)（縮）管，漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°，漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流，支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流，則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。