由于超精密加工的精度等級(jí)和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測(cè)手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測(cè)量中，對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測(cè)量誤差比加工誤差高一個(gè)數(shù)量級(jí)。目前，超精密測(cè)量?jī)x正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。光學(xué)干涉顯微鏡測(cè)量技術(shù)，包括外差干涉測(cè)量技術(shù)、超短波長(zhǎng)干涉測(cè)量技術(shù)、基于F-P(Febry-Perot)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量技術(shù)等。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測(cè)量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測(cè)量?jī)x器均可以滿足納米測(cè)量的需求。