氫氣檢漏法的優(yōu)勢(shì)

制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過(guò)程中，目前常使用氦檢漏技術(shù)來(lái)查找微小的泄漏，而保壓測(cè)試和水浴法常被用來(lái)檢測(cè)較大的泄漏。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。由于保壓測(cè)試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長(zhǎng)期以來(lái)，氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來(lái);所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲(chǔ)存一定時(shí)間，然后再慢慢釋放出來(lái)，從而造成本底的噪音等問(wèn)題。

無(wú)論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。其價(jià)格非常低廉，很容易在各個(gè)氣體供應(yīng)商處購(gòu)得。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí)，超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。現(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

在各種檢漏應(yīng)用場(chǎng)合中，氫氣檢漏法的出現(xiàn)為您帶來(lái)了更大的性能和效率的改善提高機(jī)會(huì)。氫氮混和氣檢漏法已在國(guó)內(nèi)外廣泛應(yīng)用于制冷、空調(diào)、汽車零部件、發(fā)動(dòng)機(jī)、變速箱、減速機(jī)、閥門、藥品包裝、飛機(jī)油箱油路及其他密封件或管路檢漏。氫氣檢漏法檢測(cè)靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡(jiǎn)便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。

真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。