光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠(chǎng)房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠(chǎng)房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案；對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī) FFU?？傊?，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s；溫度冬季>16℃；夏季<26℃；波動(dòng)±2℃。溫度45-65%；GMP劑車(chē)間濕度在50%左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A)；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%；照度300LX。

同理車(chē)間溫濕度的制定，不僅也有上述成本問(wèn)題，還有控制準(zhǔn)確度的因素，準(zhǔn)確度越高，所需的配套設(shè)備要越齊全。如相對(duì)濕度范圍準(zhǔn)確到±3%、±5%的時(shí)候，所需設(shè)計(jì)的加濕設(shè)備及除濕設(shè)備都要完備。車(chē)間溫濕度和潔凈度的制定，不單只影響前期投資，對(duì)于一個(gè)基業(yè)長(zhǎng)青的廠(chǎng)房來(lái)講后期的運(yùn)行成本也是極為重要，所以根據(jù)自身生產(chǎn)產(chǎn)品的特性，結(jié)合、行標(biāo)以及企業(yè)內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)，合理制定出符合自身需求的環(huán)境數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)是籌建凈化廠(chǎng)房基礎(chǔ)、根本的一步。

影響無(wú)塵凈化車(chē)間成本的幾大因素：空間因素有車(chē)間面積和車(chē)間層高兩個(gè)方面組成，它直接影響內(nèi)部裝修圍護(hù)的成本：彩鋼板隔墻及天花面積；空調(diào)投入成本：所需空調(diào)負(fù)荷的區(qū)域體積、空調(diào)的送回風(fēng)方式、空調(diào)的管路走向及空調(diào)末端的數(shù)量。除了空間、環(huán)境兩大塊要求之外，有些影響凈化車(chē)間達(dá)標(biāo)的因素經(jīng)常被設(shè)計(jì)方或者籌建商忽略，導(dǎo)致溫濕度超標(biāo)。比如，外界氣候考慮不、未考慮設(shè)備排氣量、未考慮設(shè)備發(fā)熱量、未考慮設(shè)備產(chǎn)塵量、未考慮大量人員同時(shí)工作產(chǎn)濕量等等。