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天津工業(yè)四氟化碳-經驗豐富「多圖」

發(fā)布時間:2021-09-23 15:43  

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四氟化碳物理性質 :

   熔點-183.6℃,

   分子式是CF4,

  沸點-128.1℃,

  液體密度(-130℃)1.613g/cm3,

  液體折光率(-173℃)1.515,

  固體轉變點72.2K,

  臨界溫度-45.67℃,

  臨界壓力3.73MPa,

   蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa

  介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006

  臨界密度:7.1dm3/mol

  標準摩爾自由能:-929.84 kJ/mol

  標準摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol

   危險性類別:第2.2類不燃氣體




四氟化碳的用途與作用 :

 四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源,用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對惰性的,在不通風的地方會引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中,氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程,使尺寸和形狀得到更好的控制,這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時不利于各種特殊的控制(如半導體各項異性控制)。





四氯化1碳與氟1化氫的反應在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進行,反應后的氣體經水洗、堿洗除去酸性氣體,再通過冷凍,用硅膠除去氣體中的水分經精餾而得成品。相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機化合物之一,不易溶于水。四氟化1碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內,小白鼠仍可安全脫險。