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深圳Edwards真空分子泵維修分子泵維修費用「潽拓光電」

發(fā)布時間:2021-08-04 23:56  

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主要特性和優(yōu)勢

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧,增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本,如果需要也可遠程使用。

       受zhuanli保護的獨特泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉。

          超清潔機構 - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑,這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂,并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年維修一次,zui大程度地延長了泵的 使用壽命。

        運轉時的噪聲低至 56 dB(A),可在潔凈室內實現(xiàn)低噪聲。


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       渦輪分子泵有真空低能耗,氣體輸送能力強,循環(huán)時間短使用時間長的優(yōu)點。在電子、半導體工業(yè),包裝、印刷、食品工業(yè)、塑料及橡膠工業(yè)、制藥工業(yè)、醫(yī)院及實驗室裝置、物流技術、環(huán)保工程、汽車工程、木工機械等有著廣泛的應用。我們承諾對國際一線品片分子泵及其驅動器維修及銷售,各類PLC板,人機界面,各型號干泵油泵等維修工作。








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