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當(dāng)M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作；

 打開分子泵之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關(guān)閉冷卻水閥；

 .每次停機(jī)后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞；

 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)槍進(jìn)行檢查。 在再次打開分子泵之前，請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報警信號時，嚴(yán)禁再次啟動分子泵進(jìn)行后處理。

在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵；水泵的使用除了嚴(yán)格按安裝使用說明書進(jìn)行外，還應(yīng)注意兩點(diǎn)：一是切忌僅憑“經(jīng)驗(yàn)”。

分子泵葉片破碎的原因：

　　答：造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點(diǎn)：

　?、?、誤操作;比如突然的破真空，因?yàn)檗D(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。

靜環(huán)密封圈越緊越好。靜環(huán)密封圈基本處于靜止?fàn)顟B(tài)，相對較緊密封效果會好些，但過緊也是有害的。一是引起靜環(huán)密封因過度變形，影響密封效果；二是如果靜環(huán)材質(zhì)是石墨，一般較脆，過度受力極易引起碎裂；三是安裝、拆卸困難，極易損壞靜環(huán)。

一切正常應(yīng)用下，為何分子泵油池會出現(xiàn)裂痕或是形變？

緣故：超溫，負(fù)荷大。

處理對策：查驗(yàn)制冷系，查驗(yàn)系統(tǒng)軟件。VARIAN TV301分子泵維修廠家

分子泵中常常掉出頂絲、鏍釘?shù)任锛鏜5的頂絲等，我想問一下是不是對分子泵的應(yīng)用有影響？應(yīng)如何解決？

緣故：應(yīng)是有時候產(chǎn)生的事兒，可能是均衡中忽略的均衡釘，對分子泵沒有危害。

處理方法：應(yīng)是有時候產(chǎn)生的事兒，可能是均衡中忽略的均衡釘，對分子泵沒有危害。VARIAN TV301分子泵維修廠家

電磁場屏蔽掉出現(xiàn)的難題

轉(zhuǎn)動的電機(jī)轉(zhuǎn)子在電磁場中造成渦電流，將使電機(jī)轉(zhuǎn)子發(fā)燙，將造成以下難題：

①、電機(jī)轉(zhuǎn)子與電機(jī)定子空隙愈來愈小，導(dǎo)致殘片；

②、電機(jī)轉(zhuǎn)子升溫過大導(dǎo)致帶磁轉(zhuǎn)子去磁；

③、因?yàn)榘l(fā)燙會變?nèi)蹁X原材料的抗壓強(qiáng)度，導(dǎo)致碎泵；

④、電機(jī)轉(zhuǎn)子發(fā)燙，更改電機(jī)轉(zhuǎn)子和軸的相對位置，導(dǎo)致碎泵。

分子泵在電磁場中運(yùn)行時，軸向和徑向磁感應(yīng)強(qiáng)度均不可超過30Gs。正常情況下，超過30Gs應(yīng)應(yīng)用吸磁原材料屏蔽掉。VARIAN TV301分子泵維修廠家

分子泵起動的標(biāo)準(zhǔn)：

①、起動標(biāo)準(zhǔn)：聯(lián)接準(zhǔn)確無誤、無漏、制冷、潤化、真空值

②、開機(jī)時間：

另外起動——小系統(tǒng)軟件，防前面油閥上返。

延遲時間起動——系統(tǒng)軟件容量過大,先起動前面泵，至系統(tǒng)軟件氣體壓強(qiáng)P=200Pa時，起動分子泵。VARIAN TV301分子泵維修廠家