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發(fā)布時間:2021-08-13 06:50  
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在實際施工中,凈化項目通常分為專業(yè),分工和分時。 這種安排有利于各種專業(yè)和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,應盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對凈化車間的依賴度也越來越高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進行無塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

設(shè)計合理的空間面積應考慮到設(shè)備操作、維修的需要。生產(chǎn)區(qū)和儲存區(qū)應有與生產(chǎn)規(guī)模相適應的空間面積,用以安置設(shè)備、物料,便于操作和維修。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展,這項技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的,現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認可,在我們國家,這項技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā),相信在不久的未來,我們國家的相關(guān)科研人員一定會在這個領(lǐng)域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻。凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會影響項目的質(zhì)量。 也就是說,在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進行無塵操作。
