熱風(fēng)循環(huán)烘箱——真空干燥箱使用方法

真空箱調(diào)試

在真空度調(diào)試完畢后，可作如下操作：

a.打開真空箱電源,此時電源指示燈應(yīng)亮(6090及6210型應(yīng)再分別打開控溫儀開關(guān))控溫儀通電自檢，PV屏顯示工作室內(nèi)測量溫度，SV屏顯示出廠時設(shè)定的溫度?？販貎x上AT及HEAT等燈應(yīng)亮，表示儀表進(jìn)入加溫的工作狀態(tài)。

b.修改設(shè)定溫度

1.按一下控溫儀的功能鍵(SET)；PV屏顯示SP字符后，可用鍵頭按鈕進(jìn)行設(shè)定溫度的修改(6090與6210型對2及3個儀表應(yīng)分別設(shè)定修改，以下類同)。

2.修改完畢后，再按一下SET鍵，PV屏顯示ST字符，設(shè)定定時時間。

如不使用定時功能，則仍然讓其ST=0

3.再按一下SET鍵，使PV屏顯示工作室溫度，SV屏顯示新的設(shè)定溫度。儀表AT及HEAT燈亮，此時儀表重新進(jìn)入加溫的工作狀態(tài)

防爆烘箱的使用，是節(jié)約能源損耗的方法之一

防爆烘箱是一種采用不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成的烘干設(shè)備，我司專業(yè)生產(chǎn)防爆烘箱設(shè)備，設(shè)備的大小可以根據(jù)不同的用戶需求來進(jìn)行定制，在防爆烘箱的外幣材料選擇上，我們采用了冷l鋼板，經(jīng)過表面復(fù)漆的方式來進(jìn)行生產(chǎn)，讓其外表能夠經(jīng)受住更多的環(huán)境考驗。

當(dāng)然防爆烘箱的烘干系統(tǒng)，主要采用了熱風(fēng)循環(huán)設(shè)計，讓需要被烘干的產(chǎn)品可以在密閉的環(huán)境中，得到有效的熱循環(huán)，從而有效的提升防爆烘箱的工作效率，也節(jié)約一定的能源。

工業(yè)烘箱的正確維護(hù)保養(yǎng)，提高烘箱設(shè)備的使用壽命。

維護(hù)保養(yǎng)需知：

1）上下班用軟布把烘箱表面擦干凈，保持烤箱表面清潔，防止表層脫漆影響外觀。

2）工業(yè)烤箱內(nèi)應(yīng)經(jīng)常擦拭，以免腐蝕性物質(zhì)粘附在內(nèi)膽上，影響烤箱使用壽命。

3）鼓風(fēng)烘箱烘烤之溫度絕l不能超過本機之規(guī)定溫度。

4）不可將工業(yè)烤箱風(fēng)道和風(fēng)孔堵死，以保證正常送風(fēng)風(fēng)道。

5）在電熱烤箱烘烤過程中聽到聲音異常應(yīng)立即停止工作，檢查馬達(dá)及風(fēng)葉輪，以免燒壞馬達(dá)。

6）高溫烘烤物品后，不能立即關(guān)掉總開關(guān)，應(yīng)打開風(fēng)扇開關(guān)讓熱量散發(fā)出去后方可關(guān)機，以免烤箱局部受熱變形。

7）熱風(fēng)循環(huán)烘箱電控制箱應(yīng)定期檢修，由于電熱接觸器頻繁通斷，定期更換，以防觸頭燒壞咬死，不能切斷電熱電源，爐內(nèi)溫度升高會烤壞產(chǎn)品。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。