真空爐制造時，應確保不漏氣、不漏水。真空爐爐體和爐蓋等的密封是用橡膠件，因此需要用水隔層進行冷卻。若水漏到爐膛里時，爐膛溫度很高，會引起事故。真空爐處理的工件，應清洗凈表面油污，同時避免淬火油槽的油蒸氣進入爐膛。這些油蒸氣和空氣混合后將形成事故氣氛，一旦有明火或通電時就會產生事故。所以真空爐裝料后應關閉爐門，將爐膛抽成真空后，方可通電加熱。


使用金屬在真空狀態(tài)下的變相特色，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產生什么變化。真空熱處理加工是和可控氣氛齊頭并進的運用面很廣的無氧化熱處理技能，也是當前熱處理生產技能先進程度的首要標志之一。某些合金鋼及其焊接結構，在淬火后當即進行高溫回火，這種接連的熱處理操作叫做調質處理。通過調質處理可使鋼堅持高的沖擊耐性的同時獲得高的強度。這是其它處理辦法達不到的。

熱處理工藝文件包括熱處理工藝卡片和工藝規(guī)程兩類，均是為零件的正確熱處理而提出的。工藝卡片內容的設計應包括產品名稱、材料牌號、技術要求、檢驗方法、工序步驟、裝爐方法和裝爐量、工夾具的使用以及采用的設備等，的是熱處理工藝參數的設計，這是工藝卡片的核心所在。而工藝規(guī)程是工藝卡片的補充，是反映某一種熱處理方法或操作方法的工藝規(guī)程，它詳細規(guī)定了進行某種熱處理的操作方法和注意事項。