凈化工程中空氣凈化處理方案

    ●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

   ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

   ●送風(fēng)機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

    潔凈室凈化工程檢測點的安置：依據(jù)中華人民共和國國家標準GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)則：在對凈化車間進行潔凈度檢測時，檢測點應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面內(nèi);關(guān)于單向流型凈化車間測點總數(shù)應(yīng)不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅安置在一凈化車間工作區(qū)內(nèi);非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個測點。

    關(guān)于潔凈室等動力采樣的問題：所謂等動力采樣就是在檢測時，粒子的計數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致，并且空氣進入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。由于對凈化工程的檢測咱們主要關(guān)心兩種粒徑，即0.5um和5um。非等動力采樣關(guān)于≤0.5um的粒子影響不大。假如取樣空氣用于計算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動力條件的影響，則計算結(jié)果也不受影響。

    我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。