擴(kuò)散硅壓力傳感器

硅傳感器，是用于醫(yī)學(xué)、軍事與航空航天、工業(yè)和汽車應(yīng)用?；驹硎抢冒雽?dǎo)體的壓阻效應(yīng)和微機(jī)械加工技術(shù)，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當(dāng)受到外力作用時(shí)產(chǎn)生微應(yīng)變，電阻率發(fā)生變化，使橋臂電阻發(fā)生變化（一對(duì)變大一對(duì)變?。┰诩?lì)電壓信號(hào)輸出，經(jīng)過計(jì)算機(jī)溫度補(bǔ)償、激光調(diào)阻、信號(hào)放大等處理手段和嚴(yán)格的裝配檢測(cè)、標(biāo)定等工藝，生產(chǎn)出具有標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)的壓力變送器.

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擴(kuò)散硅壓阻傳感元件的特點(diǎn)

擴(kuò)散硅壓阻傳感元件與其他傳感元件相比具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單 , 可微型化 , 輸出信號(hào)大 , 精度高 , 分辨率高 , 頻響高 , 低功耗 , 體積小 , 工作可靠等突出特點(diǎn)。

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擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理

擴(kuò)散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

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