湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴(kuò)散，從而達(dá)到滲氮的目的。

濺射靶起輝放電后，當(dāng)電源的輸出脈沖的重復(fù)頻率足夠高時(shí)，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子還沒有完全被中和完畢，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓與濺射靶的工作電壓接近或相同。當(dāng)電源輸出脈沖的重復(fù)頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時(shí)間過長(zhǎng)(大于100ms以上)，濺射靶起輝放電后，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子已基本被中和掉，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓恢復(fù)至較高數(shù)值，與點(diǎn)火起輝時(shí)的高電壓接近或相同。?(經(jīng)濟(jì)型)雙極性矩形波或正弦波中頻靶電源的輸出電壓或電流的工藝調(diào)節(jié)范圍偏窄，若相關(guān)參數(shù)選配合適，一般可用于磁控濺射鍍膜工藝相對(duì)固定和單一的工業(yè)生產(chǎn)中，其優(yōu)點(diǎn)是靶電源價(jià)格可以相對(duì)便宜。??

法國(guó)的Massines小組、加拿大的Radu小組和俄羅斯的Golubovskii小組對(duì)APGD的形成機(jī)理也進(jìn)行了比較深入的研究工作。離子滲碳是將工件裝入溫度在900℃以上的真空爐內(nèi)，在碳?xì)浠衔锏臏p壓氣氛中加熱，同時(shí)在工件(陰極)和陽(yáng)極之間施加高壓直流電，產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，使活化的碳被離子化，在工件附近加速并轟擊工件表面進(jìn)行滲碳的工藝。Massines小組對(duì)氦氣和氮?dú)獾腁PGD進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究和數(shù)值模擬 ，除了測(cè)量外加電壓和放電電流之外，他們用曝光時(shí)間僅10ns的ICCD相機(jī)拍攝了時(shí)間分辨的放電圖像，用時(shí)空分辨的光譜測(cè)量記錄了放電等離子體的發(fā)射光譜，并結(jié)合放電過程的一維數(shù)值模擬，他們認(rèn)為，氮?dú)庵械木鶆蚍烹娙詫儆跍烹?，而氦氣中均勻放電才是真正意義上的輝光放電，或亞輝光放電。他們還認(rèn)為，得到大氣壓下均勻放電的關(guān)鍵是在較低電場(chǎng)下緩慢發(fā)展大量的電子雪崩。