真空鍍膜機(jī)設(shè)備真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)特點(diǎn)

真空鍍膜機(jī)在等離子體束濺射中，濺射離子均勻刻蝕靶面，并且不會(huì)使靶面產(chǎn)生氧化。與磁控濺射相比，其中的等離子體束是由射頻等離子體源產(chǎn)生的，磁場(chǎng)的作用則是使等離子體束會(huì)聚并偏轉(zhuǎn)至靶面，因此，雖然等離子體束濺射鍍膜系統(tǒng)內(nèi)也有磁場(chǎng)，但其磁場(chǎng)卻并不控制影響濺射，這也摒棄了磁控濺射中由磁場(chǎng)不均勻帶來的“磁控”的缺點(diǎn)。在濺射完成后，所得的靶材利用率可高達(dá)90%以上。

真空鍍膜機(jī)即分別進(jìn)行磁控濺射和等離子體束濺射之后靶面刻蝕的對(duì)比圖。由于靶材的利用率大幅度提高，也解決了磁控濺射中所難以克服的缺點(diǎn)，即靶中的毒導(dǎo)致的刻蝕不均勻

真空鍍膜機(jī)此外，磁控濺射由于背面磁鐵磁場(chǎng)不均勻而產(chǎn)生濺射跑道，非磁場(chǎng)約束區(qū)很容易產(chǎn)生氧化，因此很難沉積鐵磁性材料，而等離子體束濺射中由于不用磁鐵作為等離子體約束，能夠進(jìn)行鐵磁性材料的鍍膜，并且可以使用很厚的靶材，圖3中實(shí)驗(yàn)金屬鈷的厚度即為6mm。對(duì)于鐵、鎳、鉻以及鐵磁性化合物，等離子體束濺射也都具有很高的濺射速率。

應(yīng)用該項(xiàng)鍍膜技術(shù)的系統(tǒng)還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)將電磁線圈的極性反接時(shí)，由于磁場(chǎng)的方向產(chǎn)生了變化，等離子體束會(huì)在磁場(chǎng)的作用下轟擊基片，從而對(duì)基片產(chǎn)生清洗作用,如圖4所示。這實(shí)際上可以使得應(yīng)用該項(xiàng)技術(shù)的鍍膜機(jī)省略常規(guī)鍍膜機(jī)的清洗用離子源。

多弧濺射在靶材上施小電壓大電流的作用

多弧濺射在靶材上施小電壓大電流使材料離子化（帶正電顆粒），從而高速擊向基片(負(fù)電)并沉積，形成致密膜堅(jiān)硬膜。主要用于耐磨耐蝕膜。中頻濺射的原理跟一般的直流濺射是相同的,不同的是直流濺射把筒體當(dāng)陽極,而中頻濺射是成對(duì)的,筒體是否參加必須視整體設(shè)計(jì)而定,與整個(gè)系統(tǒng)濺射過程中,陽極陰極的安排有關(guān),參與的比率周期有很多方法,不同的方法可得到不相同的濺射產(chǎn)額,得到不相同的離子密度中頻濺射主要技術(shù)在于電源的設(shè)計(jì)與應(yīng)用,目前較成熟的是正弦波與脈沖方波二種方式輸出,各有其優(yōu)缺點(diǎn),首先應(yīng)考慮膜層種類,分析哪種電源輸出方式適合哪種膜層,可以用電源特性來得到想要的膜層效果.中頻濺射也是磁控濺射的一種,一般真空鍍膜機(jī)磁控濺射靶的設(shè)計(jì),磁場(chǎng)的設(shè)計(jì)是各家技術(shù)的重點(diǎn),國(guó)際幾個(gè)有名的濺射靶制造商,對(duì)靶磁場(chǎng)的設(shè)計(jì)相當(dāng)專業(yè),改變磁場(chǎng)設(shè)計(jì)能得到不相同的等離子體蒸發(fā)量.電子的路徑,等離子體的分布.關(guān)于陰極?。ㄒ簿褪请x子鍍），磁控濺射，以及坩堝蒸發(fā)都屬于PVD（物理氣相沉積），坩堝蒸發(fā)主要是相變，蒸發(fā)靶材只有幾個(gè)電子伏特的能量。

光學(xué)真空鍍膜機(jī)清洗和保養(yǎng)方法

光學(xué)薄膜在我們的生活中無處不在，從精密及光學(xué)設(shè)備、顯示器設(shè)備到日常生活中的光學(xué)薄膜應(yīng)用;比方說，平時(shí)戴的眼鏡、數(shù)碼相機(jī)、各式家電用品，或者是防偽技術(shù)，皆能被稱之為光學(xué)薄膜技術(shù)應(yīng)用之延伸。光學(xué)鍍膜技術(shù)以及普及到人們生活方方面面，因此光學(xué)真空鍍膜機(jī)也是大家目前非常關(guān)注的話題。今天至成真空小編為大家介紹一下光學(xué)真空鍍膜機(jī)在平時(shí)運(yùn)行的時(shí)候該如何清洗和保養(yǎng)問題，希望能讓大家對(duì)光學(xué)真空鍍膜機(jī)多一些了解。

首先我們來介紹一下光緒真空鍍膜機(jī)的清洗問題：設(shè)備使用一個(gè)星期后，因鍍料除鍍?cè)诠ぜ砻嫱猓嘁驘o定向性而工作室內(nèi)的襯板上鍍料，并越鍍?cè)胶?，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時(shí)，應(yīng)對(duì)工作室及襯板進(jìn)行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈。

因此，襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。后安裝襯板時(shí)，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。如使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會(huì)造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。