分子泵：分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

真空泵冒煙和噴油1.冒煙，如果是泵剛剛開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長(zhǎng)時(shí)間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說(shuō)明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門(mén)、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會(huì)結(jié)束。渦街流量計(jì)2.噴油，說(shuō)明進(jìn)氣口外有大量的漏點(diǎn)，甚至是進(jìn)氣露大氣。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說(shuō)明有漏點(diǎn);排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥。

真空泵組閥片的作用：閥片其實(shí)對(duì)于真空泵機(jī)組的運(yùn)行起到了很大的作用，如果閥片受損就會(huì)嚴(yán)重影響機(jī)組的正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況，所以這就需要對(duì)閥片做好定期檢查，從而確保閥片能夠長(zhǎng)久保持良好的使用狀態(tài)。真空泵組在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)機(jī)械故障，為了預(yù)防這些可能出現(xiàn)的故障，首先保證設(shè)備的密封效果，一般會(huì)在真空泵兩端的柔性排氣孔上安裝一組閥片，閥片的作用是為了盡可能的緩解由于真空泵工作出現(xiàn)的氣壓不穩(wěn)影響到內(nèi)部壓縮作業(yè)效果的情況。

環(huán)境的影響:　　環(huán)境的影響主要是指被抽氣體對(duì)體系的污染, 在鋼液處置過(guò)程中, 鋼液會(huì)放出很多的氣體, 一起也會(huì)有一部分細(xì)微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵, 這些小顆粒會(huì)堆積粘附在泵體上,減小了抽氣管路流導(dǎo), 延長(zhǎng)了抽氣時(shí)刻, 下降了泵的抽氣功能。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的理論探索, 咱們以為對(duì)泵的功能影響較大的主要有: 內(nèi)走漏、蒸汽的影響、泵的布局的影響。