水環(huán)式真空泵管路安裝正確方法

1真空系統(tǒng)出口與泵的入口之間距離越短越好；

2管路拐彎越少越好； 進(jìn)口管路應(yīng)高于泵的入口中心線，出口管應(yīng)避免有引起較大阻力的因素，如出口管上爬、直角拐彎等；

3真空泵在停機(jī)時(shí)，真空泵內(nèi)部的水位不能高與真空泵自身高度的一半，防止真空泵在啟動(dòng)時(shí)電流過高。

4配接進(jìn)出口管直徑應(yīng)與真空泵的進(jìn)出口直徑一致，如真空系統(tǒng)較小，進(jìn)出口配接管直徑可以小，且出口直徑應(yīng)大于或等于入口管直徑；

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行，延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間，節(jié)約運(yùn)行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù)，否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴，選擇一臺(tái)耐粉塵，維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。

無油真空泵就是工作期間不用油做為工作介質(zhì)和密封的，主要是在工作空間內(nèi)沒有油，如渦旋泵、螺桿泵、低溫泵等，共同組成的系統(tǒng)可以獲得無油潔凈的空間，這是真空發(fā)展的趨勢(shì)。

無油節(jié)能真空泵

氣缸內(nèi)的活塞上有活塞環(huán)，保證被活塞間隔開的氣缸兩端氣密封性。WLW型往復(fù)真空泵活塞在氣缸內(nèi)做往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，不斷的改變氣缸兩端的容積，一端容積擴(kuò)大吸入氣體，水環(huán)無油節(jié)能真空泵價(jià)格，另一端容積縮小排出氣體?；钊c氣閥的聯(lián)合作用，周期地完成 吸氣和排氣作用，隔油腔及充氣腔將機(jī)械傳動(dòng)部分與氣體流通部分隔開，新型無油節(jié)能真空泵價(jià)格，以防止油漏入、或帶入氣缸內(nèi)。當(dāng)要求抽吸氣回收時(shí)，充氣腔內(nèi)可充入該種氣體。以防止空氣漏入氣缸內(nèi)而影響氣體純度。

真空泵的泵腔內(nèi)壓力過低，無油節(jié)能真空泵價(jià)格，泵腔內(nèi)會(huì)發(fā)作嚴(yán)重的汽蝕，形成泵的振動(dòng)、噪聲過大而影響運(yùn)用的時(shí)分，無油節(jié)能真空泵廠家，能夠在泵的吸氣區(qū)域增加一個(gè)真空調(diào)理閥，在上述狀況發(fā)作時(shí)，能夠恰當(dāng)翻開調(diào)理閥以緩和振動(dòng)和噪聲的影響，或者是降低真空度，到達(dá)需求的真空度請(qǐng)求。

真空泵結(jié)合工程實(shí)例，采用典型工況時(shí)間段方法簡(jiǎn)化了水泵運(yùn)行總能耗計(jì)算。對(duì)不同并聯(lián)臺(tái)數(shù)及不同運(yùn)行控制方式下真空泵循環(huán)水泵變頻調(diào)速運(yùn)行的節(jié)能特性進(jìn)行了分析研究。利用水泵相似定律，給出了確定變轉(zhuǎn)速運(yùn)行時(shí)各工況點(diǎn)水泵效率的等效率曲線法。