梅州Edwards真空分子泵維修技術(shù)選型「潽拓光電」

發(fā)布時(shí)間：2021-09-08 17:21

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潽拓——{精}，分子泵

廣州潽拓，EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢(shì)

占地面積小且重量輕 - 作為可用的工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

受zhuanli保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常每 5 年維修一次，zui大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。

運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

供應(yīng)二手愛德華Edwards STP-iXR2206磁懸浮分子泵及維修

廣州潽拓光電主要提供Pfeiffer(普發(fā))， Leybold(萊寶)，Alcatel（阿爾卡特），Edwards（愛德華），Varia（瓦里安），Seiko Seik（精工），Shimadzu（島津），Agilen（安捷倫），Osak（大阪），，ULVAC（愛發(fā)科）等的真空渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵，分子泵機(jī)組，分子泵電源。

廣州潽拓光電科技有限公司可提供24小時(shí)快速維修保養(yǎng)技術(shù)服務(wù)，歡迎咨詢聯(lián)系。