2017年，我國工業(yè)新舊動能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級、企業(yè)效益明顯改善。2018年，隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)加速東移，中國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)迎來歷史機遇期。氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟基礎工業(yè)之一，覆蓋社會生產(chǎn)的各個領域，受益于國民生活，牽動著科學技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。但加入的H2含量（體積分數(shù))必須低于6％，否則會導致產(chǎn)生氫氣孔。特種氣體是泛半導體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料，直接關(guān)系到我國民經(jīng)濟發(fā)展和國家戰(zhàn)略安全。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，政府各部門多次出臺特種氣體鼓勵政策。2017年5月2日，科技部印發(fā)《“十三五”先進制造技術(shù)領域科技專項規(guī)劃》中關(guān)鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝，重點研發(fā)包括超高純電子氣體和其他關(guān)鍵材料產(chǎn)品。6月16日，特種氣體入選國家《重點新材料首批次應用指導目錄（2017年版）》。9月12日，保監(jiān)會決定建立新材料首批次應用保險補償機制并開展試點工作。將《重點新材料首批次應用指導目錄》生產(chǎn)首批次新材料的企業(yè)作為保險補償政策的支持對象。原則上政府補貼的責任限額不超過合同金額的5倍、且不超過5億元，投保費率不超過3%。

標準氣體的穩(wěn)定性

標準氣體的穩(wěn)定性是配制和使用過程中的關(guān)鍵問題。裝入高壓鋼瓶中的標準氣體理論上在保存和使用過程中其濃度值不應發(fā)生變化。但對裝有氣體的容器進行加熱時，其溫度不得超過40℃，一般使用40℃以下的溫水或用溫水浸過的毛巾來加熱。但實際上，標準氣體中的組分氣體或不純物與容器內(nèi)壁接觸時往往引起吸附、解吸、化學反應等現(xiàn)象而使其濃度值隨時間發(fā)生變化，濃度越低、組成成分越復雜時這種變化越大。因此，標準氣體的穩(wěn)定性在很大程度上與容器的材料物性、容器內(nèi)壁的預處理情況和氣體本身的化學特性有著密切的關(guān)系。

標準氣體的使用注意事項

1、可燃氣體的燃爆限，從安全的角度出發(fā)，在制備標準氣體之前，必須對標準氣體混合的可行性進行研究。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限，在制備由可燃氣體和氫氣（或氧氣）組成的標準氣體時，要注意組分氣體含量是否超過燃爆限的問題。瑞士聯(lián)邦理工學院(EcolePolytechniqueFederaledeLausanne(EPFL))的化學工程師證明，原子級的石墨烯膜能夠有效地分離氣體混合物。否則在制備過程中，可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃氣體組分的標準氣體前，必須了解該組分的燃爆限，以確保安全。

2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能，要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能，考虎是否會產(chǎn)生冷凝作用、標準氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應等。