濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器?，F(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多，所以凈化工程企業(yè)之間的競(jìng)爭(zhēng)也很激烈，因?yàn)榭萍嫉陌l(fā)展使得市場(chǎng)對(duì)凈化工程的要求高了起來，從以前的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)變成了現(xiàn)在的價(jià)值競(jìng)爭(zhēng)。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應(yīng)該提高自身的自主研發(fā)能力，不斷的發(fā)展創(chuàng)新，才能適應(yīng)這個(gè)競(jìng)爭(zhēng)激烈的市場(chǎng)。

凈化工程技術(shù)的興起不過是上個(gè)世紀(jì)的事情，但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展，對(duì)凈化車間的依賴度也越來越高。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí)，增加一級(jí)過濾器。在實(shí)際施工中，凈化項(xiàng)目通常分為，分工和分時(shí)。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是，易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作，應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免，應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。

在實(shí)際施工中，凈化項(xiàng)目通常分為，分工和分時(shí)。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是，易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作，應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免，應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。布置工藝的流程盡可能短，減少交叉往復(fù)，、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室，除配備產(chǎn)品工序要求的用室外，還應(yīng)配備潔具室、洗衣間、暫存室等，每間用室相互，凈化工程的面積應(yīng)在保證基本要求前提下，與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)。10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí)，并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對(duì)潔凈度的要求更加高。