高純氣體輸送及儲運也是影響電子氣體質量的關鍵因素。三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩(wěn)定的氣體，是一種強氧化劑。超高純氣體的生產和應用要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口，要求相應器件耐高壓、耐高真空，對于腐蝕性氣體要求耐腐蝕，以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產品種類的增多，對包裝容器的要求也越來越高，對于氣瓶內壁處理技術以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

電子混合氣配比的精度：隨著混合氣中產品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應商能夠對多種 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。綜合上述原因來說，高純氯化1氫更有利于制備高純鹽酸，這樣既節(jié)省了成本，也避免了氯化1氫氣體排入大氣污染環(huán)境的問題。 氣體儲運：保證氣體在存儲、運輸、使用過程中不會被二次污染，對氣瓶內部、內壁表面的處理涉及多項工藝，均依賴于長期的行業(yè)探索和研發(fā)；此外，對于某些具有高毒性或危險性的氣體，需要使用負壓氣瓶儲運，以減少危險氣體泄露風險。

高純氣體用作零點氣的制作完全類似于氣體標準物質的制作，但操作過程可以簡化。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼，使牙齒生黃斑，骨骼成畸形。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質含量低于分析方法所采用測量儀器的檢出量，則此種稀釋氣就可作為“零點”氣使用。 零點氣體是用于在給定的含量范圍內，用給定的分析方法去校準標準工作曲線的零點。當其作為被測樣品進入檢測儀表后，在儀器選下的測量范圍內，僅呈現(xiàn)儀表零點的響應值。