在芯片制造領(lǐng)域，光刻機和蝕刻機一直是芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵。在業(yè)界有個形象的比喻，光刻機是芯片制造的魂，蝕刻機是芯片制造的魄，如果要想制造的芯片，這兩個東西都必須。

而在光刻機方面，與世界的7nm制程都相去甚遠(yuǎn)。不管三星、英特爾還是臺積電在芯片制程工藝方面如何去競爭，但ASML終究是背后霸主，贏家，因為他們誰都離不開他的EUV光刻機。而國產(chǎn)光刻機還在路上，目前我國已經(jīng)能夠使用365納米波長的光生產(chǎn)22納米工藝的芯片，這在全世界尚無先例，它也被稱為世界上首臺分辨力的紫外超分辨光刻裝備。這也意味著國產(chǎn)光刻機可以使用低成本光源，實現(xiàn)了更高分辨力的光刻。

蝕刻

1、正式蝕刻

把堅好膜的銅材放在入料口的合適位置，按下蝕刻開關(guān)，蝕刻機就開始對銅材進行蝕刻， 根據(jù)要求控制好蝕刻機傳輸速度，從而控制蝕刻深度。

蝕刻略淺，只需蝕刻出圖案花紋即可，之后由蓋油工程師對蝕刻后的銅材進行精準(zhǔn)定位的蓋油，以保護底紋，露出需打穿的部分，烘干、再進一次蝕刻機，打穿成型。

2、褪膜

使用專用的退膜機進行褪膜處理，褪膜后用清水沖洗干凈，再用烤箱烘干。

3、打磨

 專業(yè)打磨拋光人員對卡片純手工拋光打磨，要求一次一張，打磨后邊緣無任何水口位殘留毛刺，摸上去手感平滑順暢。

抗蝕刻層： 

抗蝕刻層大概為油墨或濕膜二種，現(xiàn)階段有店家發(fā)布了噴墨打印機復(fù)印抗蝕刻油墨，但精度是不是能做到產(chǎn)品規(guī)定，必須靠慮。 油墨的包裝印刷方法比較多，能夠依據(jù)不一樣的產(chǎn)品開展選 擇，大致而言有下列幾類： 傳統(tǒng)式手動式或全自動包裝印刷：只有單雙面包裝印刷。 絲網(wǎng)印刷機：優(yōu)勢較為顯著，施膠速度更快，可單雙面施膠或兩面途布。 曝光機： 曝光機現(xiàn)階段大概有幾種，一是傳統(tǒng)式風(fēng)冷式小輸出功率的曝光機，像這類曝光機精度差，低，只適合做簡易的標(biāo)識牌產(chǎn)品。 若想做的產(chǎn)品，提議功率大的水冷式曝光機，或LED平行面曝光機。此2款型號都有優(yōu)點和缺點，水冷式曝光機輸出功率大，耗能高。而LED曝光機是屬冷光燈曝光機，耗能低，精度也罷，但是就是說價錢較為高。但這2款型號，燈源也平穩(wěn)，產(chǎn)品合格率也高。但實際采用哪家能夠依據(jù)分別要求開展挑選。