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發(fā)布時(shí)間:2021-04-08 09:52  
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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶(hù)的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學(xué)反應(yīng),選用方解石是因?yàn)槠涞慕贤饩€(xiàn)穿透率。掩模版遮光一部分用Cr,因此有時(shí)候也叫鉻板。選用燈的g線(xiàn)應(yīng)i線(xiàn),在于你常用的光刻膠,每個(gè)光刻膠產(chǎn)品介紹都是列舉其所比較敏感的納米段。
光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理:
光刻機(jī)的光源有:激光,紫外光、深紫外光、極紫外光。現(xiàn)在先進(jìn)技術(shù)是極紫外光。
下圖是以激光為光源的光刻機(jī)簡(jiǎn)易工作原理圖:
在制造芯片時(shí),首先在晶圓(硅晶片)表面涂光感膠,再用光線(xiàn)透過(guò)掩模版(相當(dāng)于芯片電路圖紙的底片)照射硅片表面,被光線(xiàn)照射到的光感膠會(huì)發(fā)生反應(yīng)。此后用特定溶劑洗去被照射或者未被照射的膠,電路圖就印到硅片上。
此過(guò)程相當(dāng)于木匠施工用墨斗放樣、劃線(xiàn)。
硅片上有了電路圖的圖樣后,就輪到刻蝕機(jī)登場(chǎng),刻蝕機(jī)相當(dāng)于木匠的鋸子、斧頭、鑿子、刨子??涛g機(jī)按圖施工,在硅片表面雕刻出晶體管和電路。
掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過(guò)類(lèi)似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機(jī)直接制備,其制作過(guò)程就是典型的光刻工藝過(guò)程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過(guò)程。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。
光致抗蝕劑也被稱(chēng)為光致抗蝕劑。掩模板上的圖案被轉(zhuǎn)移到晶片表面頂層的光致抗蝕劑上,并且在后續(xù)工藝中保護(hù)下面的材料(蝕刻或離子注入)。光致抗蝕劑由光敏樹(shù)脂、光引發(fā)劑、添加劑、溶劑等組成。其中,光敏樹(shù)脂是光刻膠的關(guān)鍵成分。
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