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發(fā)布時(shí)間:2021-10-01 08:22  

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廣州潽拓光電——Shimadzu島津TMP-V2304LMPB磁力設(shè)備泵保養(yǎng)

Shimadzu島津TMP-V2304LMPB磁力設(shè)備泵維修保養(yǎng),日本島津 TMP-V2304LM磁懸浮分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng),無(wú)需使用油潤(rùn)滑,在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程當(dāng)中,無(wú)任何摩擦,是真正做到完全無(wú)油、免維護(hù)、全方*安裝的渦輪分子泵,Shimadzu TMP-V2304LM分子泵進(jìn)氣法蘭口VG250/ISO250B,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到2100 L/s,轉(zhuǎn)速為33700 rpm,Shimadzu島津磁懸浮TMP-V2304LM分子泵自帶控制器。其步驟為,1、切斷電源,將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下,2、用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來(lái),以免污染環(huán)境。



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發(fā)展真空技術(shù),助力半導(dǎo)體行業(yè)我國(guó)是世界大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng),但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低,尤其是關(guān)鍵材料與核心設(shè)備和零部件方面,存在較大國(guó)外品牌依賴。例如,薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過(guò)程核心部件——磁懸浮分子泵,長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。廣州潽拓光電——維修adixenATH1600M磁懸浮分子泵阿爾卡特分子泵產(chǎn)品,其大部分分子泵轉(zhuǎn)速在27000rpm,軸承為開放式軸承,需定期添加潤(rùn)滑油脂,廣州潽拓公司使用原廠配件維修,保修周期一般為三個(gè)月,并免費(fèi)提供技術(shù)服務(wù)。面對(duì)“卡脖子”問(wèn)題,中科科儀積極響應(yīng)國(guó)家需求,承擔(dān)科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專項(xiàng)中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,攻克多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),于2011年成功研制國(guó)內(nèi)第i一臺(tái)磁懸浮分子泵,打破國(guó)外產(chǎn)品壟斷。varian真空分子泵用途