凈化車間噪音控制

FFU的風(fēng)機一般為幾臺甚至幾十臺并聯(lián)使用，當(dāng)設(shè)計時要考慮FFU噪音的疊加，保證《潔凈室廠房設(shè)計規(guī)范GB0073-2001》中明確規(guī)定“潔凈室內(nèi)的噪音級(空態(tài)),非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB”的要求。因此在選擇風(fēng)機時zui好選擇、壓出式、直驅(qū)后徑向葉片風(fēng)機，這樣可以降低整體噪音。

凈化車間龍骨架的選用

由于FFU的風(fēng)機過濾機組是直接安裝在天花板骨架間，為了使過濾器既要更換簡便快捷，又要使FFU的風(fēng)機運行保持平衡，減少安裝失衡的機率。因此一般考慮專業(yè)配套的龍骨架。這種龍骨架是采用機械冷軋成特殊幾何形狀(U形)的型鋼,金屬表面根據(jù)其環(huán)境不同，進(jìn)行防腐處理(如靜電噴涂、熱冷鍍鋅、環(huán)氧等)，可以即保證了與之相似槽鋼的強度，又滿足了FFU運行的需求。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時，對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。