該裝置由汽化爐、分解爐、重合室這3個(gè)部分組成，在重合室中放置對(duì)象物品，在汽化爐中放置Parylene (粉體)。

       在裝置內(nèi)進(jìn)行減壓操作后，升高汽化爐的溫度（120~180℃），使Parylene升華。 通過(guò)真空泵將該氣體引導(dǎo)至蒸汽粘合室，通過(guò)高溫（650~700℃）分解爐后，生成熱分解單體。該單體在室溫狀態(tài)下的重合室內(nèi)與對(duì)象物品相接觸，其含有的熱量被傳導(dǎo)后在對(duì)象物品的表面進(jìn)行聚合，形成高分子量的聚對(duì)二樹(shù)脂膜。

可耐5000V且可隨厚度增加而持續(xù)提高

絕緣性能不會(huì)受環(huán)境溫度和濕度的影響；

Parylene 的介電常數(shù)和介電損耗均非常低且不受吸潮的影響；

Parylene 的高純度、表面憎水性及不存在任何痕量的離子污染又保證了極高的體積電阻率和表面電阻率；

極低的高頻損耗，特別適合超高頻器件。

用環(huán)氧樹(shù)脂材料進(jìn)行電泳涂敷，但電泳涂敷時(shí)工件表面必須有一掛點(diǎn)，掛點(diǎn)的修補(bǔ)不僅費(fèi)工費(fèi)時(shí)，而且質(zhì)量難以保證用。另外當(dāng)繞線器件很小時(shí)，使用傳統(tǒng)膠帶做絕緣就很困難。用Parylene涂層能夠有效此問(wèn)題并具有大量生產(chǎn)降低成本的優(yōu)勢(shì) 。

      普通真空鍍膜時(shí)，在工件表面與鍍層之間幾乎沒(méi)有連接的過(guò)渡層，好似截然分開(kāi)。而離子鍍時(shí)，離子高速轟擊工件時(shí)，能夠穿透工件表面，形成一種注入基體很深的擴(kuò)散層，離子鍍的界面擴(kuò)散深度可達(dá)四至五微米，對(duì)離子鍍后的試件作拉伸試驗(yàn)表明，一直拉到快要斷裂時(shí)，鍍層仍隨基體金屬一起塑性延伸，無(wú)起皮或剝落現(xiàn)象發(fā)生，可見(jiàn)附著多么牢固，膜層均勻，致密。