相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

實(shí)驗(yàn)潔凈室一般實(shí)施兩級(jí)隔離，一級(jí)隔離通過(guò)生物安全柜、負(fù)壓隔離器、正壓防護(hù)服、手套、眼罩等實(shí)現(xiàn);二級(jí)隔離通過(guò)實(shí)驗(yàn)室的建筑、空調(diào)凈化和電氣控制系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。但由于凈化空調(diào)需要風(fēng)量小為了安全起見(jiàn)，風(fēng)量都按大的估算，一般都要超過(guò)規(guī)范規(guī)定，物別是百級(jí)以上，冷熱負(fù)荷在要求不是很嚴(yán)格的情況可能估算，現(xiàn)在專門有凈化空調(diào)機(jī)組，可以直接利用。一般實(shí)驗(yàn)室裝備有:超凈工作臺(tái)、生物安全柜、邊臺(tái)或不銹鋼操作臺(tái)、洗滌臺(tái)等。

凈化室工程安裝送風(fēng)口的事項(xiàng):1.凈化公司在裝置之前重要的就是要看分明送風(fēng)口的尺寸效率請(qǐng)求，一定要契合干凈室的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)計(jì)，到達(dá)用戶的需求去規(guī)范，否則無(wú)法愈加順利裝置，即使裝置好運(yùn)用效果也不會(huì)令用戶稱心。2.裝置之前，凈化工程公司要對(duì)產(chǎn)品停止有效的清洗，同時(shí)要把干凈室也停止全方面的清掃，比方說(shuō)有些干凈室的空調(diào)里面有很多灰塵，要及時(shí)把空調(diào)內(nèi)部也清洗潔凈。只要全方面清潔到位，那么產(chǎn)品才干夠更好的裝置，而且運(yùn)用過(guò)程中不會(huì)呈現(xiàn)灰塵。