圍繞塵埃來源和塵埃積聚對(duì)潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點(diǎn)：

1、頂棚：頂棚材料多采用表面光滑材料，如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板，可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布擦拭表面，并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

2、墻面：墻面材料多采用表面光滑材料，如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板，可以采用吸附力強(qiáng)的無塵抹布、無塵抹水器擦拭表面，并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

　微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。

車間的設(shè)計(jì)是綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布置、流型的選擇和管道系統(tǒng)的布置等，進(jìn)行建筑物平面和斷面的設(shè)計(jì)，并在工藝步驟的基礎(chǔ)上，正確處理潔凈室與非潔凈室和不同潔凈室之間的關(guān)系，使要求潔凈度高、潔凈度要求低的房間處于正壓狀態(tài)，提高氣密性。還要注意建筑物內(nèi)部的噪聲控制，隔離外部噪聲干擾，注意防火，以及緊急情況下人員的安全疏散。人員和材料入口應(yīng)分開設(shè)置，以避免人員和物流線之間的往返。純化流線應(yīng)清晰，短而且經(jīng)過反純化。