在滲氮零件的整個制造過程中，滲氮往往是后一道工序，至多再進行精磨或研磨。滲氮零件的工藝流程一般為:鍛造→正火(退火)→粗加工→調質→精加工→去應力→粗磨→滲氮→精磨→裝配。

氮化前的預熱處理包括正火(退火)、調質處理、去應力。

a.正火(退火)，其目的是細化晶粒、降低硬度、消除鍛造應力。

b.調質處理，可以改善鋼的加工性能，獲得均勻的回火索氏體組織，以保證零件心部有足夠的強度和韌性，同時又能使?jié)B氮層和基本結合牢固。

c.去應力處理，對于形狀復雜的精密零件，在滲氮前應進行1~2次去應力，以減少滲氮過程中的變形。

對于鋼鐵材料，零件淬火后，馬氏體組織中存在存在一定量的殘余奧氏體，尤其是馬氏體轉變溫度較低的材料，殘余奧氏體可能多達10%以上。殘余奧氏體是一種不穩(wěn)定組織，可以逐步轉變成馬氏體。奧氏體轉變成馬氏體體積會變大，造成零件尺寸的變化。退火操作方法：將鋼件加熱到Ac3 30~50度或Ac1 30~50度或Ac1以下的溫度（可以查閱有關資料）后，一般隨爐溫緩慢冷卻。同時，奧氏體的機械性能也不穩(wěn)定。深冷處理就是將淬火后工件置入較低溫度的環(huán)境中（比如5℃以下的冷水中），促進殘余奧氏體向馬氏體的轉變，以提高材料性能。一般比較重要的零件才會采用深冷工藝，比如精密量具，精密軸承等。

滲碳熱處理

氣體滲碳是將工件裝入密閉的滲碳爐內，通入氣體滲劑或液體滲劑（煤油或苯、酒精、），在高溫下分解出活性碳原子，滲入工件表面，以獲得高碳表面層的一種滲碳操作工藝。

固體滲碳是將工件和固體滲碳劑（木炭加促進劑組成）一起裝在密閉的滲碳箱中，將箱放入加熱爐中加熱到滲碳溫度，并保溫一定時間，使活性碳原子滲人工件表面的一種早的滲碳方法。

液體滲碳是利用液體介質進行滲碳，常用的液體滲碳介質有：碳化硅，“603”滲碳劑等。