凈化車間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施?

    凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，shou選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。（4）、汽車吊按有關(guān)部門的規(guī)定期限和指1定檢修廠家進(jìn)行按期效驗(yàn)、維修?！穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

凈化工程不同等級設(shè)計(jì)參數(shù)？

凈化工程原理

1氣流—初效空氣處理—空調(diào)—中效空氣處理—風(fēng)機(jī)送風(fēng)—凈化管道—高1效送風(fēng)口—潔凈室—帶走塵?！仫L(fēng)夾道—新風(fēng)。

不同等級設(shè)計(jì)參數(shù)：

換氣次數(shù)：十萬級10-15次/小時；萬級15-25次/小時；千級50-52次/小時；百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s

壓差：主凈化車間對相鄰車間≥ 5Pa

溫度：冬季＞ 16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；        

照度：≥300Lux。

?潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分

     根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。

（一）凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則

   1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

   2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。

   3、有條件時可將 4 級、5 級單向流和 6 級、7 級、8 級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

   4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。

   5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

   6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個系統(tǒng)。     7、混合后會產(chǎn)生劇1毒、引起火災(zāi)和爆1炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。     8、有1劇1毒和的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。