三維形貌測量系統(tǒng)

可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時滿足細觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機械等微細結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。

 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。


一、三維表面形貌儀測量原理：低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結(jié)果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。    二、三維表面形貌儀技術(shù)特點：    1、每秒一百萬張二維圖像    2、無損表面形貌檢測和分析    3、高精度在線/離線檢測    4、模塊化設(shè)計，超高集成靈活性    5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動，噪聲，溫度等）    6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域


三維表面形貌儀應(yīng)用領(lǐng)域：      工業(yè)：   食品安全在線檢測   微電子集成電路表面形貌在線檢測   印刷電路板品質(zhì)檢測   零件器件表面劃痕損傷檢測   微機械精加工質(zhì)量控制，如鐘表，微機械器件等   電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控，如手機，筆記本電腦，平板等   微流體器件三維形貌檢測   在線檢測設(shè)備集成   證件防偽，安檢    科研：   MEMS器件   微機械零件表面形貌觀察和測量   微光學(xué)器件（太赫茲、紅外、微波、天線陣列）三維形貌表征   生命科學(xué)：生物組織/生物體的 三維形貌測量   偵l查取證：表面劃痕觀察，微小證據(jù)三維形貌快速表征