DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器，它既是測振儀，又是測微儀，既能測量動態(tài)位移，又能測量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。儀器遠銷國內(nèi)外，收到國內(nèi)外用戶的一致好評。

從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對材料進行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進行優(yōu)勢互補，相輔相成。當前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0。  在加工精度的量級上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

制造業(yè)是國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是先進制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。在工業(yè)計量中有很多需要檢測的參數(shù)與位移量的變化有關(guān)，如力、流量、溫度、速度、振動、密度、粘度等。當前，在制造自動化領(lǐng)域，進行了大量有關(guān)計算機輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計算機集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當前制造技術(shù)的一個重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。

1981年美國IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。針對不同的工業(yè)計量中的檢測參數(shù)，經(jīng)變換和不斷的改進更新達到實現(xiàn)測量和控制操作的目的。與此同時，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。