真空鍍膜設備在集成電路制造中的應用

　　1.晶體管路中的保護層（SiO2、Si3N4）、多弧離子鍍膜機電極管線（多晶硅、銅及其合金）等多是采用CVD技術、PVCD技術、真空蒸發(fā)金屬技術、磁控濺射技術和射頻濺射技術?？梢姎庀喑练e術制備集成電路的核心技術之一。

　　2.真空鍍膜設備在傳感器方面的應用

　　在傳感器中，多采用那些電氣性質相對于物理量、高真空鍍膜機化學量及其變化來說，極為敏感的半導體材料。此外，其中大多數(shù)利用的是半導體的表面、界面的性質，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多

真空鍍膜是在高真空中加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結在鍍膜部件表面形成薄膜的一種方法。如真空鍍鋁、真空鍍鉻等。

真空鍍膜是真空系統(tǒng)應用發(fā)展領域的一個非常重要內容方面，它是以真空處理技術為基礎，利用物理或化學教學方法，并吸收電子束、分子束、離子束等一系列新技術，為科學研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。

對經(jīng)過清洗處理的清潔表面，不能在大氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。工程車輛反光杯加工

真空鍍膜加工對于 高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應貯存在真空干燥箱中。工程車輛反光杯加工

真空鍍膜加工清除鍍膜室內的灰塵，設置清潔度高的工 作間。

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