在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面：

　　靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體(絕緣體)，由于電荷產生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

　　凈化工程亂流式：空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。光學微電子凈化工程解決方案:4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點A、無塵車間潔凈度:LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激1活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析：對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計，應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產工藝的要求作為前提。半導體潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)──或者在遠紫外線處理（DUV）區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。根據以往經驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機 FFU?？傊唧w的方案選擇根據具體情況而定。

      無塵室標準溫濕度是多少?

      這個標準要根據你的無塵室用途和生產的產品來決定，比如電子類產品有些膠到24攝氏度就會明顯地液化，沒法用了，那使用這種膠的無塵室溫度范圍肯定要低，濕度也是類似的。

      也就是說，決定溫濕度標準的是你的產品、工藝要求，而不是無塵室本身。無塵室要根據你的用途需求來進行設計，滿足你的溫濕度要求。沒有完全統(tǒng)一的無塵室溫濕度標準。