真空泵，隔膜泵機(jī)械密封的安裝與使用要求

1、機(jī)械密封對機(jī)器精度的要求：（以真空泵的機(jī)械密封為例）

（1）安裝機(jī)械密封部位的軸（或軸套）的徑向跳動(dòng)公差不超過0.04～0.06mm.

（2）轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)不超過0.3mm.

（3）密封腔體與密封端蓋結(jié)合的定位端面對軸（或軸套）表面的跳動(dòng)公差不超過0.04～0.06mm.

2、密封件的確認(rèn)：

（1）確認(rèn)所安裝的密封是否與要求的型號(hào)一致。

（2）安裝前要仔細(xì)地與總裝圖對照，零件數(shù)量是否齊全。

（3）采用并圈彈簧傳動(dòng)的機(jī)械密封，其彈簧有左、右旋之分，須按轉(zhuǎn)軸的旋向來選擇。

真空鍍膜機(jī)的自控檢測裝置

真空鍍膜機(jī)有一個(gè)自控檢測裝置，它可以被動(dòng)的進(jìn)行動(dòng)態(tài)防護(hù)。在實(shí)際運(yùn)用過程中，為了研究和改進(jìn)檢測裝置，考慮到溫度影響過濾材料的吸附和吸收性能，會(huì)將裝置置于空調(diào)房間。濕度一方面影響過濾材料吸濕，又會(huì)對試劑吸收性能產(chǎn)生影響，要求嚴(yán)格控制。根據(jù)催化劑測定管和比速來確定，流量的大小與動(dòng)態(tài)防護(hù)時(shí)間成反比，試劑濃度與動(dòng)態(tài)防護(hù)時(shí)間也成反比，其波動(dòng)還會(huì)影響到終點(diǎn)確定。

為了滿足要求不時(shí)的也會(huì)做出各種改進(jìn)，主要方面有用E E29型溫濕度傳感器代替了干濕球濕度計(jì)，通過控制干濕兩路流量比，代替了原來的玻璃調(diào)濕槽，采用噴射泵技術(shù)，在較低的試劑壓力下，實(shí)現(xiàn)了長時(shí)間試劑均勻混合，濃度穩(wěn)定。

真空鍍膜機(jī)磁流體密封組件的安裝

真空鍍膜機(jī)磁流體密封組件的安裝與使用:密封組件安裝與使用時(shí)應(yīng)注意注意被裝的密封組件與軸的同軸度要求、磁流體的注入量應(yīng)適當(dāng)、安裝前既應(yīng)對組件進(jìn)行必要的真空清洗處理、密封組件泄漏時(shí)檢查：

1、注意被裝的密封組件與軸的同軸度要求，借以保證密封間隙具有較小的偏心量。

2、磁流體的注入量應(yīng)適當(dāng)，在保證各級(jí)密封間隙中具有足夠量的前提下，不可過多地注入磁流體，以防抽空時(shí)多余的磁流體進(jìn)入真空室內(nèi)，污染真空室。

3、安裝前既應(yīng)對組件進(jìn)行必要的真空清洗處理，又應(yīng)注意防止乙醇等清洗劑滴入磁流體密封組件內(nèi)，以免引起密封組件的失效。

4、如發(fā)現(xiàn)密封組件泄漏時(shí)應(yīng)從如下幾點(diǎn)進(jìn)行查找：a、磁流體是否失效；b、連接法蘭與組件內(nèi)靜密封圈是否受到損壞；c、極齒齒型是否與轉(zhuǎn)軸接觸產(chǎn)生干摩擦；d、轉(zhuǎn)軸與密封組件是否連接不當(dāng)產(chǎn)生同軸度移位；e、磁鐵是否退磁等。

真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)安全

安全保護(hù)系統(tǒng)對任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機(jī)設(shè)備和人身安全，對于用戶來說，我們設(shè)計(jì)分配了2級(jí)的安全級(jí)別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。

不論是工作在自動(dòng)工作方式，還是手動(dòng)維護(hù)方式，輸出量的互鎖保護(hù)都是非常重要的。為防止誤操作，我們設(shè)計(jì)了互鎖電路和程序互鎖的2級(jí)互鎖。條件不充分按錯(cuò)鍵時(shí)，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯(cuò)誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報(bào)警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動(dòng)作，分別實(shí)現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時(shí)，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時(shí)，紅燈點(diǎn)亮報(bào)警，停止工藝進(jìn)程

鍍膜機(jī)通過用戶的使用和生產(chǎn)，證明整個(gè)程序化自動(dòng)控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。

控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標(biāo)完全符合航天GaAs太陽電池的要求，并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺(tái)。

盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的發(fā)展在國內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國外先進(jìn)技術(shù)還有一定差距。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)所應(yīng)用的控制技術(shù)國際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國內(nèi)真空行業(yè)在真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。