光波超精密——超精密大理石氣浮導(dǎo)軌

基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。其特點(diǎn)是運(yùn)動(dòng)精i確，清潔無(wú)污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅(qū)動(dòng)、傳感器、閉環(huán)系統(tǒng)的方式實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌廣泛應(yīng)用于測(cè)量?jī)x器和精密機(jī)械中，超精密工作臺(tái)常用的導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已用多年，滾動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦因數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——超精密大理石氣浮導(dǎo)軌

與普通滾動(dòng)導(dǎo)軌相比，氣浮導(dǎo)軌具有以下優(yōu)點(diǎn)

導(dǎo)軌面之間為氣體潤(rùn)滑，其摩擦系數(shù)極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動(dòng)功率；

由于系非接觸摩擦，所以導(dǎo)軌磨損極i小，壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒(méi)有關(guān)系，即使在非常低的速度下也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產(chǎn)生熱量，不發(fā)生粘度變化。

光波超精密技術(shù)研究院——超精密大理石氣浮導(dǎo)軌

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對(duì)導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

同時(shí)氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——超精密大理石氣浮導(dǎo)軌

實(shí)踐中，氣浮墊的性能比較復(fù)雜，受多種因素的影響。對(duì)于要求較高精度的氣浮導(dǎo)軌，應(yīng)考慮以下實(shí)際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過(guò)增加節(jié)流孔數(shù)量來(lái)提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進(jìn)氣浮軸承的特性，可適當(dāng)調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡(jiǎn)單又有效。