光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析：對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī) FFU?？傊唧w的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

    無塵室檢測(cè)前應(yīng)對(duì)工藝設(shè)備跟清潔室內(nèi)部進(jìn)行仔細(xì)清潔,以免影響測(cè)驗(yàn)數(shù)據(jù);檢測(cè)清潔度等級(jí)時(shí),檢測(cè)人員堅(jiān)持人數(shù)，有必要穿清潔工作服,測(cè)微生物濃度時(shí)有必要穿無菌服、戴口罩,測(cè)定人員應(yīng)坐落儀器、儀表下風(fēng)側(cè)，盡量削減走動(dòng)跟起伏;清潔室考試前,應(yīng)對(duì)所測(cè)環(huán)境做全部清潔,但不得使用個(gè)別吸塵機(jī)吸塵,擦洗人員應(yīng)穿清潔工作服,蕩滌劑可根據(jù)場(chǎng)合選用純化水、、中性洗滌劑或自來水;考試名字首先應(yīng)測(cè)風(fēng)速、風(fēng)量、靜壓,后撿漏,再測(cè)清潔度,在其余名字測(cè)完并實(shí)現(xiàn)名義消毒后,測(cè)定細(xì)菌濃度,測(cè)定細(xì)菌前不得進(jìn)行空氣消毒,然后測(cè)定選定名字。

    凈化車間潔凈度檢測(cè)時(shí)，使用光散射粒子計(jì)數(shù)器的取樣量：關(guān)于塵土粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)時(shí)的空氣取樣量，在國標(biāo)GBJ73-84中規(guī)則：關(guān)于100級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于1L，關(guān)于1000~10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L，關(guān)于10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。關(guān)于100級(jí)凈化車間，宜選用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。