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發(fā)布時間:2020-12-06 07:20  
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光波超精密——超精密氣浮導(dǎo)軌
目前,國內(nèi)外大多數(shù)精密測量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動部件,而以氣動靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式,其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。
由于精密測量儀要求摩擦熱小,不需要太大的載荷,所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)。因此測試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。
凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置,就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量,載重量及精度要求不同,
光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——超精密氣浮導(dǎo)軌
安裝時,無論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌,安裝都比較簡單,但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的,這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多,其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽,從而借助溝槽的幫助,才能實現(xiàn)滑動元件的平穩(wěn)滑動。
直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力,這類設(shè)計,也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一,所以在選購時也要十分注意這一點。
基于氣體動靜壓效應(yīng),氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)無摩擦、無振動的平穩(wěn)運(yùn)動。其特點是運(yùn)動精i確,清潔無污染。由于均化誤差的作用,可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。
一般采用伺服驅(qū)動、傳感器、閉環(huán)系統(tǒng)的方式實現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌廣泛應(yīng)用于測量儀器和精密機(jī)械中,超精密工作臺常用的導(dǎo)軌有滾動導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等,滾動導(dǎo)軌的使用已用多年,滾動導(dǎo)軌運(yùn)動精度可達(dá)微米級,摩擦因數(shù)可降至0.002~0.003。滾動式導(dǎo)軌具有滾動摩擦阻力小,不存在爬行漂浮現(xiàn)象,但其摩擦系數(shù)大,抗沖擊性能差,運(yùn)動不平穩(wěn),使用壽命低等優(yōu)點,在實際應(yīng)用中還存在不足。
光波超精密空氣導(dǎo)軌——超精密氣浮導(dǎo)軌
與普通滾動導(dǎo)軌相比,氣浮導(dǎo)軌具有以下優(yōu)點
導(dǎo)軌面之間為氣體潤滑,其摩擦系數(shù)極i小(約0.0005左右),因此可以大大降低傳動功率;
由于系非接觸摩擦,所以導(dǎo)軌磨損極i小,壽命長,可長期保持制造精度,減少維修工作量;
氣膜具有誤差均化作用,可提高導(dǎo)軌的運(yùn)動精度;
(4)氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系,即使在非常低的速度下也不會產(chǎn)生爬行,運(yùn)動平穩(wěn);
(5)在不增加冷卻措施的情況下,幾乎不產(chǎn)生熱量,不發(fā)生粘度變化。
作為工業(yè)產(chǎn)品,直線導(dǎo)軌在機(jī)械上的應(yīng)用很重要,肯定是要用到它的,不僅僅是美觀上,在應(yīng)用體驗上也要創(chuàng)新設(shè)計,對產(chǎn)品進(jìn)行不斷的研究,直線導(dǎo)軌在不同的應(yīng)用上使用一定年限后會產(chǎn)生變化,那么就需要我們對產(chǎn)品進(jìn)行設(shè)計和改進(jìn)。
所以既然要設(shè)計直線導(dǎo)軌,那么首先要遵循直線導(dǎo)軌副的自動貼合原理,要使導(dǎo)軌精度高,就必須使導(dǎo)軌副具有自動貼合的特點。橫梁可以靠移動部件的重量來固定,而其他的橫梁則需要額外的彈簧力或滾筒壓力來固定。
然后是全接觸原理,固定直線導(dǎo)軌的長度,要求動導(dǎo)軌必須處于行程的兩個極限位置,與固定導(dǎo)軌進(jìn)行全接觸,以保證直線導(dǎo)軌副在接觸過程中能完成全接觸,使之達(dá)到完i美狀態(tài)。
在使用環(huán)境惡劣的地方,有的型號還配備了專用的軟伸縮防塵罩和專用的防塵罩。此外,如果需要在易受切削屑和切削液噴濺影響的環(huán)境下使用,建議采用軟環(huán)形伸縮罩,以保護(hù)整個系統(tǒng),或采用大面積伸縮防塵罩。
為了改善防塵性能,每一直線導(dǎo)軌系統(tǒng)均配以高耐磨損的特殊合成橡膠制成的密封墊片,以及層疊式接觸刮i刀、清潔環(huán)等配件。