無油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)也啟動(dòng)了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無油真空泵的探索，在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃，如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵(lì)機(jī)制、技術(shù)推廣、市場(chǎng)開拓規(guī)劃的調(diào)整等，這些舉措都為鋪展市場(chǎng)做好了基礎(chǔ)。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決的問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，東莞真空泵而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增了設(shè)備維護(hù)成本。

無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動(dòng)等基礎(chǔ)性、共性問題，還使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中，如果應(yīng)用普通旋片油泵，會(huì)產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題，而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn)。其次，由于某些工藝過程中被抽氣體進(jìn)入到真空泵內(nèi)很難回收，并且造成泵內(nèi)介質(zhì)變質(zhì)。為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子，還要在系統(tǒng)運(yùn)行中，定期清洗除油，增加了成本運(yùn)行。因此，無油渦旋真空泵確實(shí)具有未來深廣的發(fā)展前景，是著重商業(yè)化的對(duì)象。

國(guó)內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無油污染的真空環(huán)境，無油真空泵的研發(fā)不僅推動(dòng)了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì)，還為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒，帶動(dòng)了整個(gè)真空獲得行業(yè)的能力和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

 真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。真空泵市場(chǎng)所發(fā)生的動(dòng)態(tài)變化，顯示了綠色環(huán)保領(lǐng)域在各工業(yè)體系中的滲透。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。 　　 正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。 　

真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 　

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

真空泵電機(jī)溫度高的對(duì)策 電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和東莞真空泵相匹配的，不能更改。應(yīng)反省謂孔部位并堵死，(5)油量過量發(fā)生噴油，應(yīng)放出過剩的油，(5)排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反惹起噴油，應(yīng)從新裝擋油網(wǎng)。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì)引起東莞真空泵電機(jī)振動(dòng)增加。    

 (1)將原風(fēng)扇罩加長(zhǎng)40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。但對(duì)于某些大型機(jī)組來講，由于機(jī)組慣性大，啟動(dòng)困難，啟動(dòng)時(shí)有較大的啟動(dòng)電流，不注意啟動(dòng)方式的話，對(duì)電網(wǎng)或電機(jī)都有損害。軸流風(fēng)機(jī)另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻；     

(2)定期清除電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力；    

(3)將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V

干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來具有極大的市場(chǎng)前景。